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    手机腾龙时时彩软件 www.fkcg.icu ◆ 用工控机对工艺时间,温度,气体流量,阀门动作,反应室压力实现全自动控制。

    ◆ 采用进口压力控制系统,闭环系统,稳定性高。

    ◆ 采用进口耐腐蚀不锈钢管件、阀门,确保气路气密性。

    ◆ 具有完善的报警功能及安全互锁装置。

    ◆ 具有超高温报警及欠温报警,MFC报警,反应室压力报警,RF报警,高压空气压力    报警, N2 压力报警,流报警等。

    ◆ 现有的PECVD改造升级后具有生长SiO2薄膜的功能,解决了电池组件PID问题。

    同时可生长SiNxOy薄膜(背面钝化工艺),可极大地提高电池的转换效率。

     

     类   型

    ◆ 装片数量: 320片/舟(125*125) 252片/舟(156*156)

    ◆ 净化台洁净度:100级(10000级厂房)

    ◆ 自动化程度:自动控制温度及工艺过程。

    ◆ 送取片方式:软着陆式,其特点平稳可靠、无爬行、定位准确、承重量大、使用寿命长。

     

     

     

    ■ 技术指标

    ◆ 每管最大装片量:320片/舟(125*125)  252片/舟(156*156)

    ◆ 工艺指标:片内±3%,片间±3%,批间±3%

    ◆ 工作温度:200~500℃

    ◆ 温区精度及长度(静态闭管测试):1200mm ±1℃

    ◆ 气体流量精度:±1%FS

    ◆ 气路系统气密性:1×10-7Pa.m³/s

    ◆ 控制:全进口自动压力闭环调节系统,精准控制反应真空; 40KHz AE 高频电源;工艺舟软着陆;全数字式控制,完善安全的过程控制?;?。

    ◆ 1管、2管、3管、4管分别可??;自动装载机械手可选,设备性能、工艺性能可与进口设备媲美。

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