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    手机腾龙时时彩软件 www.fkcg.icu ■  设备优势

    ◆ 温度控制:采用进口稳定可靠的智能仪表,能够实现整个工艺过程的自动精确控温。

    ◆ 生长材料定位系统:以进口直线电机为主体,系统定位精确且无抖动,加速度大能快速启动,可快速精准的将生长材料移动至下一个生长点。

    ◆ 黄金炉体加热系统:采用“黄金”炉体加热,能够快速升温,准确恒温,精确降温。“黄金”炉体主体由石英管、电阻丝及刚玉组成,洁净度高,适合于IC、电子器件的快速退火、液相外延等工艺。

    ◆ 真空系统:本系统配有真空系统,极限真空度1Pa。本地真空时间视工艺管路。

    ◆ 工艺气体:可配置H2、 N2 、O2  等工艺气体,带有自动连锁, 危险气体检测及尾气燃烧装置。

     

    ■  主要技术指标  

    ◆ 工作温度:300-700℃恒温区长度:240mm(可根据客户要求进行定制)

    ◆ 温区精度: 500℃<工作温度<650℃:±0.5℃

    ◆ 单点温度稳定性(动态测试):±0.1℃

    ◆ 温度斜变能力:最大可控升温速率:50℃/min   最大可控降温速率:30℃/min

    ◆ 气体流量精度:1% FS

    ◆ 气路系统气密性:1×10-7Pa·m³/S

    ◆ 速度:0.1~9999mm/s

    ◆ 炉体移动速度:5~1000mm/min

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