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    ■ 主要技术指标 
    ◆ 结构型式:单管水平式,加热炉体可左右移动      
    ◆ 适合2~3″晶体生长工艺(可定制) 
    ◆ 炉体有效加热长度:1600mm
    ◆ 最高工作温度: 1300℃
    ◆ 升温速率(室温~1260℃): 斜变升温速率可控在0~15℃/ min
    ◆ 恒温区精度(静态闭管):±0.5℃
    ◆ 降温(1300℃~ 900℃): 0~5℃/ min        
    ◆ 供电电源:三相五线   380V±10%           50~60Hz

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